10.3969/j.issn.1672-5468.2002.01.004
热载流子退化对MOS器件的影响
介绍了评价热载流子注入效应的加速寿命试验,针对具体的工艺线,提取了MOS管加速寿命试验的模型参数,以阈值电压变化10 mV为失效判据,分别对0.8μm和0.6μm工艺线的热载流子注入效应进行了评价.整个测试过程由程序控制,设备精度高,使用简便,适用于亚微米和深亚微米工艺线的可靠性评价.
热载流子注入、加速寿命试验、阈值电压、可靠性评价
TN386.1(半导体技术)
2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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