大气环境非接触调频AFM检测与控制平台设计及测试
为进一步提高大气环境调频非接触模式原子力显微镜(frequency modulated non-contact atomic force microscope)样品表面形貌表征能力.本文基于大气环境光路调节系统设计了高精度驱动位移调节装置,采用多块堆叠的切向压电陶瓷实现了stick-slip高精度驱动方式,调节精度达到了2.6 nm/V,其精度高于常规步进电机,使得悬臂反射率达到26％.基于该高精度位移调节装置设计,系统实现了谐振频率检测与反馈,其中共振频率f0 =158.73 kHz,半高宽ω=373.2 Hz,品质因数Q=564,系统最小检测灵敏度达到80 mHz,系统电压噪声密度约为2.32 μV/√Hz,系统整体噪声为253.3 fm/√Hz.为表征样品形貌奠定了基础.
调频非接触模式原子力显微镜(FM-NC-AFM);光路调节;粘滑驱动;高精度位移调节;谐振频率检测
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TH741(仪器、仪表)
科技部国家重点研发计划项目;国家自然科学基金资助项目;山西省重点研发计划项目;山西"1331工程"重点学科建设
2021-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
163-168
