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MEMS的未来十年属于执行器

引用
过去几年,微机电系统(Micro Electro Mechanical System ,MEMS)备受关注,但是大多数集中于MEMS传感器应用,在可以预见的未来十年内,M EM S执行器即将大放异彩。

未来十年、Mechanical System、微机电系统、执行器、传感器、应用

F12;TJ3

2015-11-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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