10.3969/j.issn.1009-623X.2005.12.016
Cymbal型复合压电作动器微进给技术研究
针对普通压电作动器行程较短的缺点,提出一种具有Cymbal结构的复合压电陶瓷作动器的结构设计.通过将压电陶瓷微小的径向位移放大,转换成轴向位移,扩大了作动器的行程.在作动器控制系统设计中,一方面在硬件结构设计中引入了高精度的位移传感器闭环反馈系统,另一方面通过对作动器的输出进行软件补偿的方法,消除了Cymbal型复合压电作动器自身存在的输出磁滞性和非线性的缺点,大幅度提高了系统的开环控制特性,实现了对作动器的高精度控制.实验结果证明系统设计有效.
压电作动器、微进给、控制系统、行程、智能传感器
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
中国科学院资助项目;中国物理研究院科研项目10376043
2006-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
52-54,71
