10.3969/j.issn.2095-2163.2022.04.006
一种基于Gabor变换的芯片缺陷特征增强方法
由于特征信息获取受限,基于二维图像处理技术的芯片外观缺陷检测方法对微小外观缺陷的检测率不高.为满足开发高端芯片的微小外观缺陷检测算法的需要,本文提出了一种基于Gabor变换的芯片缺陷特征增强方法.首先基于光度立体法采集芯片外观图像并做算子运算,得到特征信息丰富的反照率图;然后利用Gabor变换对反照率图进行滤波处理,可得到局部特征信息增强的图像.实验表明,本文提出方法对微小缺陷的显现精度达到了0.04 mm,较传统二维图像处理方法提高了一个数量级.
光度立体、Gabor变换、特征增强、3D重建
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TP391(计算技术、计算机技术)
国家自然科学基金;国家级大学生创新创业训练计划项目
2022-04-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
30-34,40