10.3321/j.issn:0372-2112.2006.11.009
真实缺陷的矩形模型及其关键面积计算
在集成电路(IC)中,为了进行有效的成品率估计和故障分析,与光刻有关的缺陷形状通常假设为圆模型.然而,真实缺陷的形状多种多样.本文提出一种真实缺陷的矩形模型及与之相关的关键面积计算模型,该模型既考虑了真实缺陷的形状又考虑了IC版图布线的特点.在缺陷引起故障概率预测方面,仿真结果表明新模型比圆模型更接近真实缺陷引起的故障概率.
真实缺陷、缺陷的矩形模型、关键面积模型、成品率
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TN405(微电子学、集成电路(IC))
国家高技术研究发展计划863计划2003AA1Z1630
2006-12-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
1974-1977