10.3321/j.issn:0372-2112.2005.05.028
微通道板电子透射膜及其粒子透过特性的研究
文中介绍了微光像管中微通道板电子透射膜及其形成技术,研究了粒子(电子和离子)透过特性.给出了死电压概念、死电压曲线、死电压与膜厚关系曲线以及半视场对比测试结果;给出了采用XPS进行成分分析的结果.介绍了电子透射膜的离子透过特性,给出了表征膜层对离子阻止能力的离子透过率的概念,提出了离子透过率测试的原理方案和相关技术等问题.
微通道板、电子透射膜、免污染成膜工艺、死电压、离子透过率
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TN304(半导体技术)
2005-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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