10.3321/j.issn:0372-2112.1998.05.014
光激励微型硅谐振器研究
本文介绍了一种可以形成新型光纤传感器的微型硅谐振器,其基本原理是微型硅谐振器在调制光的光热作用下产生谐振,被测物理参数使谐振频率发生改变.文中给出了用单晶硅制作桥型微谐振器的方法,研究了微型谐振器在光激励下产生振动的机理.
硅微结构、谐振传感器、光纤传感器
TN62(电子元件、组件)
中国科学院资助项目
2006-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
60-62
相关文献
评论
