10.3969/j.issn.1672-7029.2002.03.017
压电陶瓷致动补偿式空气支承系统的研究
基于现代控制理论,提出了一种新型空气支承,不改变供气压力,利用压电陶瓷(PZT)的伸缩量来补偿空气膜厚度随外部干扰的变化对支承精度的影响.在建立理论模型的基础上,介绍了二维自由度控制器的优化设计方法,并对主动空气支承系统的动态特性进行了分析研究.该系统具有精度高、响应速度快、抗干扰能力强的特点,其应用领域相当广泛.
空气支承、压电陶瓷、二维控制、动态特性
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TH133.36
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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