10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0259
计算流体力学(CFD)在化学气相沉积(CVD)模拟仿真中的应用
CVD工艺在工业生产中得到广泛应用,但CVD产物却受到许多参数的影响,而这些参数的变化如何影响沉积质量则需要重复试验才能得出结论.在CVD领域中引入计算流体力学(CFD)方法来对CVD过程进行数值模拟研究可以达到有效降低研发成本、提高沉积效率等目的.简要介绍了计算流体力学的概念;接着以AN-SYS Fluent软件为例,简述了计算流体力学仿真分析的方法;最后分别综述了计算流体力学方法在建立CVD反应的研究模型、CVD反应器结构改进以及CVD工艺优化等方面的应用.
CVD、计算流体力学、仿真方法、CFD应用
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TG156.8(金属学与热处理)
国家重点研发计划2020YFB2010400
2022-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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141-147
