10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0139
基于ZrN系列陶瓷硬质薄膜的研究现状与进展
综述了近年来ZrN系列陶瓷硬质薄膜的诸多设计思路和研究方法,考察了各种研究方法的优缺点,展望了该系薄膜的研究方向;并从ZrN薄膜自身的物理化学性质开始,介绍了先进的制备方法及工艺参数对镀膜的影响;分析了以ZrN相为基础的梯度薄膜和多层薄膜,对其结构、成分、耐腐蚀性能、耐磨性能等进行讨论.指出多层、梯度陶瓷膜具有单一ZrN相薄膜无法实现的优点,多层、梯度陶瓷膜将依然是未来ZrN相系陶瓷硬质薄膜的研究方向.
ZrN、梯度、多层、磁控溅射、离子镀
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TG174.44(金属学与热处理)
2022-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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