10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0062
(TiAlSi)N中熵涂层的微观组织与力学性能研究
为提升机械零件表面涂层的防护效用,结合中熵合金的独特设计理念,采用等离子体增强磁控溅射(PEMS)技术在316L不锈钢表面沉积(TiAlSi)N涂层.使用X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)分析涂层的化学成分、晶体结构、微观形貌和表面粗糙度.使用纳米划痕/压痕仪测试涂层的结合强度、硬度和弹性模量.EDS分析结果表明(TiAlSi)N为中熵陶瓷涂层.(TiAlSi)N涂层为非晶态,涂层表面平整致密,并且具有良好的力学性能,其结合强度、硬度和弹性模量分别约为25 N、21 GPa和225 GPa.试验结果可为未来深入研究该类涂层体系提供有价值的数据参考.
等离子体增强磁控溅射、中熵合金、(TiAlSi)N涂层、微观结构、纳米压痕
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TG174.44(金属学与热处理)
江西省井冈学者奖励计划;国家自然科学基金;江西省教育厅科技计划项目;江西省教育厅科技计划项目;江西科技师范大学本科生科研项目;江西科技师范大学博士科研启动基金
2022-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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