氮氩比对模具钢表面镀TiAlN薄膜形貌和性能的影响
采用多弧离子镀技术在H13模具钢表面沉积TiAlN薄膜,氮气作为反应气体,氮氩比大小严重影响膜层的形貌和性能.为探究氮氩比对TiAlN薄膜形貌和性能的影响,采用扫描电镜、硬度、结合力测试、高温氧化试验及电化学测试等方法研究了不同氮氩比对薄膜表面和截面形貌、耐腐蚀性能和抗氧化性的影响.结果 表明:随着氮氩比的增加,TiAlN薄膜表面大颗粒数目逐渐减小,薄膜更加致密,孔隙率降低;当氮氩比为8∶2时,TiAlN薄膜的硬度达到最大值2 576.7 HV,膜基结合力达到最大值29.1 N,具有最佳的高温抗氧化性能;当氮氩比为9∶1时,其耐腐蚀性能达到最佳.
氮氩比、TiAlN薄膜、耐腐蚀性、抗氧化性能、模具钢
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TG174.44(金属学与热处理)
湖北省教育厅科学技术项目Q20181802
2020-12-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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