SUS304不锈钢管内壁类金刚石碳基薄膜的制备及其腐蚀、摩擦学性能
金属管内壁常规等离子体化学气相沉积类金刚石碳基(DLC)薄膜的耐腐蚀性能及摩擦学性能差,以空心阴极法等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在SUS304不锈钢管内壁制备了DLC薄膜.采用现代表面分析技术,评价了DLC薄膜的微观结构、力学性能、耐腐蚀性能和摩擦学性能.结果表明:采用空心阴极PEVCD法制备DLC薄膜,沉积速率高达14 μm/h,膜厚为11～14 μm,硬度为13～15 GPa;DLC薄膜的腐蚀电流密度比SUS304不锈钢管内壁低3个数量级,且随调制周期数增加呈降低趋势;720 h盐雾腐蚀DLC薄膜表面未出现蚀坑,SUS304不锈钢管内壁则出现了锈斑;DLC薄膜在空气、去离子水及PAO润滑油中的摩擦系数和磨损率均大幅低于SUS304不锈钢管内壁;采用空心阴极PECVD法在SUS304不锈钢管内壁制备的DLC薄膜具有优异的耐腐蚀性能和摩擦学性能.
类金刚石碳基薄膜、SUS304不锈钢管、空心阴极等离子体增强化学气相沉积、腐蚀性能、摩擦学性能
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TG178(金属学与热处理)
四川省科技计划项目2016JZ0032
2019-01-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
1-5,11
