热原子层沉积技术制备的TiAlC薄膜的性能
为了解以热原子层沉积技术制备的TiAlC薄膜的特性,在不同基底温度下,以硅和二氧化硅为基底材料制备了TiAlC薄膜;采用椭偏仪、分光光度计、X射线光电子能谱、原子力显微镜、X射线衍射仪对薄膜的性能进行了测试.结果表明:随着基底温度的升高,TiAlC薄膜平均透射率逐渐降低,吸收边产生红移,光学带隙由2.56eV降低到0.61 eV;薄膜的沉积速率由0.09 nm/cycle升高到0.20 nm/cycle,表面粗糙度由1.82 nm降低到0.49 nm;不同基底温度下生长的薄膜均为无定型结构;膜层中的氧源于空气的自然氧化,且膜层的氧化程度与膜层中TiC的含量及膜层的致密性有关;TiAlC薄膜的形成主要源于高温条件下TiC的形成及三甲基铝的分解.
TiAlC薄膜、热原子层沉积、透射率、红移、光学带隙
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O484(固体物理学)
贵州省“125计划”重大科技专项项目黔教合重大专项字[2014] 037号;贵州省科学技术基金项目黔科合J字[2014]2148号;贵州省科技合作计划项目黔科合LH字[2015]7743号;贵州省2016年省级本科教学工程项目20161114020
2017-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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