TiZrN薄膜不同Zr含量时的微观结构及摩擦学性能
为了进一步评价Zr含量对TiZrN薄膜摩擦学性能的影响,采用反应磁控溅射法制备了Ti1-xZrxN薄膜(0.14 ＜x＜0.56).通过XRD,SEM技术分析了TiZrN薄膜的微观结构,考察了不同Zr含量时TiZrN薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:TiZrN薄膜的晶体结构不因Zr的加入而改变,仍为面心立方结构;TiZrN薄膜为合金化复合膜,Zr以置换方式固溶于TiN中,随着Zr含量的升高,晶粒明显细化,柱状晶生长模式发生转变;TiZrN薄膜结构致密且硬度更高,小晶粒在摩擦磨损中能有效阻止裂纹的扩展,其抗摩擦磨损性能较TiN薄膜有明显的提高.
TiZrN薄膜、摩擦磨损、微观结构、反应磁控溅射
50
TG146.1(金属学与热处理)
山东省科技发展资助计划项目“多主元高熵合金及涂层技术研究”2013GGB01096
2017-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
1-4
