多弧离子镀(TiZr)N硬质膜的热震失效过程
(TiZr)N膜层的热震性能对于(TiZr)N膜在刀具上的应用至关重要,目前此类研究还非常有限.采用多弧离子镀技术制备不同Ti/Zr原子比的3种(TiZr)N硬质反应膜,在600℃下采用水冷和空冷2种方式进行热震循环试验,考察了(TiZr)N硬质反应膜的成分、表面形貌和热震失效过程,讨论了表面形貌特别是表面液滴、膜层成分以及热震循环方式对(TiZr)N硬质反应膜热震性能的影响.结果表明:(TiZr)N膜层热震失效过程具有裂纹形成、裂纹扩展、形变区域形成并最终导致膜层脱落的特性;膜层中Zr含量增加,(TiZr)N膜层热震失效加剧;与空冷热震循环相比,水冷循环明显加剧了(TiZr)N膜层失效.
(TiZr)N硬质膜、多弧离子镀、热震性能、表面形貌
50
TG174.444(金属学与热处理)
辽宁省自然科学基金项目2015020216;河北省科技计划项目16211003D
2017-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
1-4,47
