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脉冲电沉积机理、动力学分析及其验证

引用
系统地论述了脉冲电沉积的机理及其动力学原理.根据脉冲电沉积的特点,将导通时间Ton分为形核沉积(+Ton/2)过程与晶粒长大(-Ton/2)过程,并进行了动力学分析.分析并经试验证明:Ton/Toff必须在一定的范围内协调成比例,脉冲导通时间Ton太大,容易造成浓差极化,导致晶粒的长大;脉冲关断时间Toff太大,造成非沉积时间过长,降低沉积效率;Ton和Toff越小,越有利于沉积层晶粒的细化,为一种新型的材料制造方法--脉冲电沉积提供了理论指导.

脉冲电沉积、机理、动力学、验证

TQ153.1

2011-10-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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