铀表面等离子体浸没离子注入沉积制备氮化层+Ti/TiN多层膜的结构与性能
为了改善金属铀的摩擦磨损和抗腐蚀性能,采用等离子体浸没离子注入沉积(PIII&D)技术在铀表面氮化,再沉积Ti/TiN多层膜.利用扫描电镜和X射线衍射分析了薄膜的形貌和组织结构;对薄膜的摩擦磨损和抗湿热腐蚀性能进行了测试.结果表明:薄膜表面致密,界面晶粒柱状生长方式被阻断,晶粒细化;薄膜为Ti和TiN的双相结构,衍射谱中出现了UO_2和U_2N_3的衍射峰;薄膜大大提高了铀基体的摩擦磨损和抗湿热腐蚀性能,调制周期对薄膜性能的影响较大.
氮化、Ti/TiN多层膜、等离子体浸没离子注入沉积、铀、性能
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TG174.4(金属学与热处理)
表面物理与化学国家重点实验室支持项目90000460200605
2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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