10.3969/j.issn.1001-1560.2002.05.010
用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜
介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法 --网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在各个参数配比合适的条件下,可制备出结构为fcc(面心立方)和hex(密排六方)的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体的结合好 .同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等.该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径.
网状阴极溅射、空心阴极效应、氮化钽薄膜
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TG115.22;TG174.442(金属学与热处理)
山西省青年基金991020
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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