10.15918/j.tbit 1001-0645.2018.12.014
TiAlN/AlON纳米多层涂层组织及性能研究
研究AlON层厚度对TiAlN/AlON纳米多层涂层显微组织和性能影响.使用磁控溅射技术在高速工具钢(W6Mo5Gr4V2)上制备TiAlN/AlON纳米多层涂层,使用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计、通用表面测试仪表征和分析纳米多层涂层的组织和性能.结果表明:在TiAlN模板的作用下,非晶体的AlON转变为晶态,与TiAlN形成共格外延生长,使纳米多层涂层出现了超硬现象.当AlON层厚度为0.81 nm时涂层硬度最高,达到3 769.6HV,比TiAlN单层涂层显微硬度提高了60.37％;之后随着AlON层厚度增加,硬度下降.当AlON层厚度为0.81 nm时,涂层抗刮性和摩擦磨损性能也达到最好.
TiAlN/AlON、共格外延生长、硬度、抗刮性、耐磨性
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TG174(金属学与热处理)
国家自然科学基金资助项目51575004;北方工业大学毓优团队支持计划资助项目18XN012;北方工业大学毕业设计实培计划资助项目XN1821
2019-01-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
1296-1301
