微型热式剪应力传感器的热特性建模
为了提高微机电系统(MEMS)微型热式剪应力传感器的灵敏度,分析了MEMS微型热式剪应力传感器的热平衡机理,建立其相应的数学物理模型. 从理论上分析了传感器的热膜、绝缘层及硅基底上的空腔尺寸等结构参数对其灵敏度的影响,并将研究结果与基于Fluent软件的数值模拟结果进行对比. 结果表明,所建立的数学模型是合理的.
微机电系统(MEMS)、微型热式剪应力传感器、数学建模、灵敏度
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TP212(自动化技术及设备)
国家自然科学基金资助项目60843005;北京理工大学基础研究基金资助项目20070142018
2010-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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