10.3969/j.issn.1001-0645.2003.04.017
微石英音叉电学参数的有限元分析
以U形石英音叉为例,用耦合电压自由度的方式模拟电极,提出了石英音叉的静态集总电容模型,用有限元分析中的静态分析方法计算了静态电容参数.通过对电极作短路和开路处理,分别用模态分析和谐波响应分析方法计算了石英音叉的本征频率,两种分析计算结果相同.根据本征频率计算了石英音叉的动态等效电路参数,计算值在实测值的离散范围内.最后综合运用模态分析、谐波响应分析方法计算了石英音叉传感器的电压和电荷灵敏度,可为设计传感器放大电路提供必要的参考.
石英陀螺、静态集总电容、动态等效电路、有限元法
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TH824.3;V241.5
国家部级科研项目00309060302
2003-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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