10.3969/j.issn.1001-0645.1999.01.019
电容测微仪动态特性的改进及标定方法
目的对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进.方法以8阶Butterworth滤波器MAX291为核心元件,设计了该系统的动态测量电路,提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法. 结果与结论改进后的电容测微仪在±10μm的量程内非线性误差最大不超过0.80%,重复性精度优于0.15%,测量精度优于0.10μm,频响范围达4.2kHz.
滤波电路、频率响应、电容测微仪、标定
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TH822
教育部高等学校博士学科点专项科研基金
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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