阶梯变厚度悬臂梁压电俘能器的低频振动性能分析
提出了一种二级阶梯变厚度悬臂梁压电俘能器,利用传递矩阵法和有限元仿真分析了结构振动的固有频率,研究了压电悬臂梁的几何参数对固有频率的影响,并将计算结果进行对比,得到了很好的一致性.最后,仿真得到了这种俘能器的输出电压频响曲线.研究结果表明,与传统的等厚度悬臂梁压电俘能器相比,所设计的阶梯变厚度悬臂梁压电俘能器具有优异的低频特性,通过改变几何参数可以有效调控俘能器的共振频率,使其接近环境的振动频率,从而使得输出电压达到最高.研究结果可为采集环境中的低频振动能量,实现低功耗微电子元器件的自供电提供设计的理论依据.
压电俘能器、变厚度悬臂梁、固有频率、低频振动、传递矩阵法、有限元仿真
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TN384;O322;O324(半导体技术)
国家自然科学基金资助项目11672008
2020-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
719-726
