射频感应耦合等离子体模式转变的发射光谱
通过改变气体流率、放电气压和气体组成,研究射频感应耦合放电等离子体(inductively coupled plasma, ICP)在圆柱型放电装置中E模到H模的转化规律.采用发射光谱诊断法,对419.8 nm氩原子谱线和434.8 nm氩离子谱线进行采集和分析,以表征E模到H模的转换功率.当放电气压为60 Pa时,E-H转换功率最小;在Ar中加入He对E-H转换功率几乎没有影响,而加入N2后,E-H转换功率发生了明显的改变;随着氩气流率的增加,E-H转换功率在不断减小.结果表明:射频感应耦合放电等离子体E模到H模的转化是一个突然变化的过程,转换功率会因不同的气体流率、放电气压和气体组成而变化.
ICP放电、光谱诊断、E-H模、E-H转换功率、等离子体源
44
U461;TP308(汽车工程)
国家自然科学基金资助项目51571003;ITER专项2013GB109003
2018-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
351-356
