热气泡式微流体驱动器的研究进展
热气泡式微流体驱动器是微驱动的一个研究分支，是微流控器件的重要组成部分。热气泡式微流体驱动器没有机械可动部件和机械变形，结构简单、容易加工制造、可靠性高，在航空航天、生物医学和化学等领域具有广阔的应用前景。目前，热气泡式微流体驱动器主要采用4种加热方式：电阻加热、电磁感应加热、激光加热和电火花加热。对以上4种热气泡式微驱动器的研究进展进行了总结，分析了不同加热驱动方式的工作原理、结构组成、微加工制作方法、实验测试结果和驱动特点，并对今后热气泡式微驱动器的发展趋势及研究方法进行了分析。
微驱动器、热气泡、微流体、微加热器
42
TH122
国家自然科学基金资助项目51105011;北京市教育委员会科技计划项目KM201210005015
2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共9页
1129-1137
