激光外差干涉非线性误差的测量方法
为了调整激光外差干涉光路中的光学元件,减小或抑制测量非线性误差,研究了非线性误差测量的机理和方法.基于对激光外差干涉测量信号的频谱分析,提出了非线性误差的测量方法.根据建立的非线性误差与测量信号幅度之间的模型,计算出非线性误差一次谐波和二次谐波的大小,实现非线性误差的精确测量.实验结果表明,该方法可以有效地测量激光外差干涉的非线性误差.
激光外差干涉、非线性误差、频谱分析
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TN247(光电子技术、激光技术)
北京工业大学博士科研启动基金资助项目52001999200701
2010-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
754-758
