一种大量程表面轮廓综合测量仪
为了解决传统位移传感器大量程与高精度不可兼得的问题,研制了一种表面轮廓综合测量仪.该仪器采用二维位移传感器和垂直扫描工作台.压电陶瓷驱动器和伺服电机根据零位偏移量驱动垂直扫描工作台进行垂直方向的位移,确保测量杠杆总是在每个采样间隔回到平衡位置,即使在量程增大的情况下由杠杆旋转引起的非线性测量误差也非常小.由实验和理论分析可知,该仪器可对球面、台阶、沟槽和其他各种曲面的表面粗糙度和轮廓尺寸进行精确测量.
位移传感器、垂直扫描工作台、压电陶瓷驱动器
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TG84(公差与技术测量及机械量仪)
国家自然科学基金资助项目50745020
2015-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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